三星蚀刻配方外泄，泛林韩国分公司被指违规传输
IT之家 11 月 9 日消息，据 The Elec 今日核实确认，三星电子的半导体蚀刻工艺配方已泄露至美国半导体设备厂商泛林半导体（Lam Research）的韩国业务部门。 报道提到，泛林半导体为三星电子半导体产线供应蚀刻与沉积设备。设备运行过程中产生的数据，存储在生产厂区部署的监控服务器及其他系统当中。 根据与三
The Elec 在 11 月 9 日核实确认，三星电子的半导体蚀刻工艺配方已经外流，接收方是泛林半导体（Lam Research）的韩国业务部门。
泛林半导体是三星电子半导体产线的蚀刻与沉积设备供应商。设备跑起来之后产生的数据，会存放在厂区部署的监控服务器和其他系统里。按照双方达成的协议，泛林半导体可以接收限定范围内的数据，用途限于设备性能优化和维护；具体操作上，由其韩国子公司——泛林半导体韩国分公司——向三星提交申请，再获取这些数据。
问题出在这套流程当中：有三星电子未授权对外移交的工艺配方信息，被以独立文件的形式交到了泛林半导体韩国分公司手上。三星电子今年下半年发现此事。调查显示，泛林半导体韩国分公司通过不合规的申请，多次进行了未授权的数据传输。
工艺配方里记的是设备温度、压力、气体流量、处理时长这类生产条件参数，属于承载半导体厂商独有工艺的核心技术资料。
一位知情人士称：“三星电子总部层面似乎已将此事定性为一起重大技术泄露事件。”
一些业内观察人士的看法是，这起事件可能促成了泛林半导体韩国分公司近期的 CEO 换人。该企业 11 月 6 日宣布，由金泰元（Kim Tae‑won）出任新任 CEO。前 CEO 朴俊弘（Park Jun‑hong）2024 年 1 月就任，执掌这家韩国子公司约 2 年 9 个月后卸任。
针对 The Elec 的采访问询，三星电子与泛林半导体韩国分公司都没有作出回应。
