Diamond Foundry造出8英寸单晶金刚石晶圆,芯片散热有了新选项
近日,金刚石半导体制造商Diamond Foundry宣布,成功制造出全球首块直径200毫米(8英寸)的单晶金刚石(D200mm),将这一“终极材料”首次推至晶圆级尺度。众所周知,半导体产业建立在以硅晶圆为核心材料的基础之上。特别是随着硅晶圆向更大尺寸的演进,使日益复杂的器件得以经济、可重复地制造,从而改变了电子产业。
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Foundry 近日宣布,全球首块直径 200 毫米(8 英寸)的单晶金刚石已经造出来,型号定为 D200mm。这家做金刚石半导体的公司把这种被称作"终极材料"的东西,第一次做到了晶圆级尺度。
半导体产业的根基是硅晶圆。硅片尺寸越做越大,复杂器件才能经济、可重复地生产出来,电子产业的走向也因此被改写。
与硅材料、氮化镓相比——
金刚石的禁带宽度达到 5.45–5.47 eV。它最突出的地方在于载流子迁移率更高(空穴 3800 cm²/V·s,电子 4500 cm²/V·s)、击穿电场更强(>10 MV/cm)、热导率达到 22 W/cm·K,既是自然界热导率最高的材料,体材料迁移率也居首位。未来大功率、强电场、抗辐射这几类需求,它被看作有力的候选。
Diamond Foundry 的说法是,现代 AI 处理器把巨大的功率压缩在硅的极小面积上,金刚石导热能力出色,能在材料层面把热量摊开,芯片架构、功率密度、可靠性以及冷却方式都会因此多出新的空间。
真正的坎一直卡在尺寸上。天然金刚石受地质条件限制,个头普遍很小;实验室培育金刚石过去也长期困在较小的晶体尺寸里。要长到半导体生产能用的晶圆级,等离子体物理、反应器工程、工艺控制三方面都得有突破。
在 CarbonSemi 2026 大会上,D200mm 样品首次亮相。它是一整块单晶金刚石圆片,不是多晶拼接,也不是碎片组装。200 毫米这个直径,差不多等于半导体行业成熟制程在用的晶圆尺寸。
单晶和多晶的差别同样不能忽略。多晶金刚石内部有晶界,热载流子和电荷会被散射掉;只有单晶那种连续晶格结构,才能把导热效率做到最大,同时保住金刚石本身固有的电绝缘性。Diamond Foundry 反复强调成果"是单晶金刚石晶圆",原因就在这里。
公司 CEO Martin Roscheisen 说:"这是那些曾经看似几乎不可能的里程碑之一。"他表示,数百名 DF 的工程师、科学家和技术人员为走到这一步出了力,这是十多年来无数次实验、失败、发明、重建机器与洞见的累积成果。
这项突破的技术根基,比 Diamond Foundry 成立的时间还要早得多。
Roscheisen 说:"Stefan 和 Martin 为这个目标追求了 25 年。"他提到,技术史上很少有人能凭这样的毅力死磕一个真正艰难的科学难题——主流观点认为单晶金刚石根本做不到这个尺度时,这两人没有放手。如今这份坚持变成了史上第一块 D200mm 单晶金刚石,"而最棒的是,它也让 D300mm 变得可预测。"
在 Roscheisen 看来,这份坚持落在等离子体生成、生长化学、反应器架构、晶体工程、热管理、计量、自动化与制造等多个环节的进步里。
据介绍,Diamond Foundry 开发单晶金刚石,瞄准的是半导体与先进技术应用——在这些场景中,金刚石热学、机械、电学与光学特性的组合,能带来超出常规材料极限的性能。D200mm 给出的是一条绕开尺寸限制的路径,而尺寸正是长期卡住金刚石的那道关。
Roscheisen 说:"技术史往往围绕某个事物终于奏效的那一刻来书写。但那一刻,建立在那些愿意花费数年、有时是数十年让它奏效的人之上。这块金刚石之所以存在,是因为数百人做出了贡献,也因为少数人 25 年未曾放弃这个想法。"
不过也要冷静看:Diamond Foundry 展出的这块金刚石晶圆样品,离芯片制造商能用的合格衬底或热沉片还有相当距离。平整度、厚度、缺陷密度、热学与电学性能的一致性,以及量产能不能重复,后面都还要逐项验证。