ASML 1984年起步:47名飞利浦工程师入驻漏雨棚屋,PAS 2000同年推出
芝能智芯出品1984年成立的ASML,最初是飞利浦和ASM International各出一半的合资尝试。飞利浦从1970年代就在研发晶圆步进式光刻设备,机器把掩模上的微小图形逐步投到晶圆上。原研发团队约50名相关工程师里有47人选择加入,早期办公地点是靠近飞利浦的一间漏雨棚屋。1984年推出PAS 2000,1986
1984年,ASML诞生,这是飞利浦与ASM International对半出资的一次合资试水。
飞利浦在1970年代就着手研发晶圆步进式光刻设备,原理是把掩模上的微小图形一步步投射到晶圆上。原有研发团队约50名相关工程师中,47人选择加入这个新摊子,最早的办公地点就在飞利浦附近,是一间漏雨的棚屋。
1984年,PAS 2000推出;1986年,公司与德国光学企业蔡司牵手合作。
到了1988年,客户数量依然有限,ASM方面决定退出。
1970年代,飞利浦已经把研发力量投向晶圆步进式光刻设备,做法是将掩模上的微小图形逐步投射到晶圆上。
研发出来的东西看着有前景,可真要商业化,资金需求很大,还得有全球销售、售后服务,并且要和芯片厂一起反复迭代。
那会儿市场上已经站着实力雄厚的设备公司,飞利浦一度想找美国的大型设备企业合作。谈判拖了很久,始终没有结果。
另一头,荷兰企业家Arthur del Prado创办的ASM International,正想把产品线补得更完整。
飞利浦内部有些人认为ASM体量太小,撑不起光刻系统这么复杂的事,不过双方最终还是走到一起,于1984年成立ASM Lithography,这就是ASML的前身。
原有研发团队被新公司整体接了过来。相关工程师约50名,其中47人愿意加入,从大集团相对安稳的岗位转投这家新企业。
起步阶段的办公和扩张条件相当局促,ASML的历史档案专门记下了那间紧挨飞利浦的漏雨棚屋。1984年,公司拿出PAS 2000,之后在定位与对准技术上一点点做改进。
1986年,它和德国光学企业蔡司牵上了线,后来光学系统方面的能力正是从这里打底。设备这一行的销售周期拉得很长,芯片制造商不会随便把昂贵生产线交给一家还没成熟的小公司。
到了1988年,ASML的客户数量依然有限,单靠自身难以维持经营,合资方ASM于是决定撤出。
同一时期飞利浦碰上行业不景气,开始大举压缩开支,资金进账和订单落地之间的时间差,差点把这家公司推到悬崖边上。此后ASML靠产品不断改进、合作伙伴的支持以及芯片制造商的逐步认可,才慢慢站住了脚。
光刻机
如今要做先进光刻设备,门槛已经高得吓人,ASML也常被看成欧洲工业技术的样板。
可把时间拨回1984年,这家公司没客户、没资金,连股东都险些留不住。核心设备的较量,得跨公司、跨国界磨上几十年。第一步,还是先过商业化这道关。