新景昇8.5代电致变色薄膜设备下线:膜厚均匀性2%以内
IT之家 11 月 6 日消息,据北京亦庄公众号,近日,北京新景昇智联科技有限公司(以下简称“新景昇”)8.5 代电致变色薄膜产线完成重大攻关节点验收并成功下线首台设备,标志着我国大面积连续磁控溅射镀膜核心装备实现重大突破,补齐产业链上游关键短板。 IT之家从官方介绍获悉,电致变色薄膜是一种可通过电压可逆调节光学状态的
据北京亦庄公众号消息,北京新景昇智联科技有限公司(下称“新景昇”)的8.5代电致变色薄膜产线近日通过重大攻关节点验收,首台设备成功下线。11月6日消息传出后,这一进展被业内看作我国大面积连续磁控溅射镀膜核心装备的重大突破,产业链上游的关键短板由此补齐。

官方介绍显示,电致变色薄膜属于功能薄膜,靠电压就能可逆地调节光学状态,建筑节能、交通调光、集成电路与光电器件等场合都能用上。8.5代产线的门槛,在于大尺寸基板上多层薄膜的均匀性以及连续量产的稳定性,这类高端镀膜装备过去一直靠进口。新景昇为此攻关八年,自研的8.5代电致变色薄膜设备能够连续制备超大基板多层薄膜,膜厚均匀性控制在2%以内。按计划,这台设备之后要运到哈尔滨景烁智能科技有限公司做工艺验证,为全固态电致变色薄膜的产业化落地提供支撑。
北京经开区集成电路领域眼下已建成完整产业链,设计、制造、封测、装备、材料、零部件等环节均有覆盖。今年1至9月,该区集成电路产业产值达到1667亿元,同比增长100%。
延伸阅读
“8.5代”说的是玻璃基板的世代规格。第8.5代玻璃基板尺寸为2200毫米 × 2500毫米,世代数字越高,能加工的基板尺寸就越大。设备用的大面积连续磁控溅射工艺,是物理气相沉积(PVD)中的一种:在真空环境下让靶材原子沉积到基板表面,薄膜就此生长出来。
电致变色薄膜如何工作?在约1.2至3V的小电压驱动下,锂离子在电致变色层与反向电致变色层之间来回移动,分别与两个变色层发生稳定、可逆的氧化及还原反应。玻璃的反射率、透光率和吸收率随之改变,进入室内的光线与热量也就得到控制。
新景昇是北京经开区重点引进培育的半导体装备标杆企业,主攻大面积镀膜技术及成套设备的研发制造,业务集中在EC(电致变色)玻璃相关技术与产品开发。全固态无机电致变色薄膜可用在建筑幕墙、汽车后视镜、新能源车天幕玻璃、AR / VR眼镜等场景,让玻璃透光度实现自主调节。